2005-09-08 MEMS特集 RFID 日経BPが、MEMSの特集記事を掲載している。センサーネットワークまで考えると、このぐらいは知っておく必要がある。 特別連載 「MEMSの本質を理解する」 ~目次~ | 日経 xTECH(クロステック)